1)材料表面的蚀刻 - 物理效应

等离子体中的大量活性离子，如大量离子，受激分子和自由基，作用于固体样品的表面，不仅可以去除原始污染物和杂质，还可以产生蚀刻效果粗糙化样品的表面。形成许多细小凹坑，这增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。

2)活化键能，交联

等离子体中的颗粒能量在0和20eV之间，并且聚合物中的大多数键在0和10eV之间。因此，在等离子体作用于固体表面之后，固体表面上的原始化学键可能被破坏。自由基与这些键形成交联结构网络，极大地激活表面活性。

3)新官能团的形成 - 化学作用

如果将反应气体引入放电气体中，则在活化材料的表面上发生复杂的化学反应，并引入新的官能团如烃基，氨基，羧基等，并且这些官能团是活性基团，可以显着改善材料的表面活性。